粘合式MEMS振鏡（Bonded MEMS Mirrors）與硅致動(dòng)器（silicon actuator）結(jié)構(gòu)分開(kāi)制造，用于隨后在設(shè)備頂部進(jìn)行微組裝。因?yàn)檫@些振鏡（Mirrors）是從設(shè)備致動(dòng)器結(jié)構(gòu)的上方連接的，所以它們不占據(jù)致動(dòng)器區(qū)域的一部分，因此基本上可以制成任意尺寸。粘合MEMS振鏡方法允許用戶為每個(gè)單獨(dú)的應(yīng)用選擇反射鏡的尺寸和幾何形狀，以優(yōu)化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權(quán)衡。鏡子被粘合到現(xiàn)成的致動(dòng)器上，從而能夠經(jīng)濟(jì)地適應(yīng)一小組制造的設(shè)備以適應(yīng)廣泛的應(yīng)用。
這些是在制造時(shí)制作的給定設(shè)計(jì)的典型器件的示例特性報(bào)告。大多數(shù)設(shè)計(jì)都有額外的完整數(shù)據(jù)表，可根據(jù)要求向[email protected] 索取。
表面粗糙度：<10 nm rms
驅(qū)動(dòng)方法：靜電驅(qū)動(dòng)，使用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驅(qū)動(dòng)器
鏡面曲率半徑：>5 m
鏡面涂層：鋁或金
位置重復(fù)性：室溫下優(yōu)于0.001°（1毫度）
工作溫度：MEMS Mirror工作溫度：-40°C至125°C（具體產(chǎn)品規(guī)格取決于封裝）
光學(xué)窗口：抗反射涂層熔融石英窗口?？刹鹦兜摹?
A型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm雙面增透膜，AOI 22.5°
B型：熔融石英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm雙面增透膜，AOI 22.5°
C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm雙面增透膜，AOI 22.5°
*客戶特定波長(zhǎng)和AOI可用于100件以上的數(shù)量。
光功率處理：高達(dá)2W任何鏡子，任何波長(zhǎng)。2W以上取決于反射鏡尺寸、鍍膜和波長(zhǎng)。例如。3W CW藍(lán)色或綠色在2毫米或更大的鏡子上。
第一共振旋轉(zhuǎn)頻率：對(duì)于小鏡子尺寸的兩個(gè)軸>3 kHz，對(duì)于2.0mm尺寸的>1.2kHz等。
傾斜角是模擬的，而不是開(kāi)關(guān)
這是不能用于任意方向光束控制的數(shù)字微鏡元件的關(guān)鍵區(qū)別。換句話說(shuō)，如果需要6.15°的傾斜角，只需施加正確的電壓，即可獲得該角度（或任何其他角度）并將其保持任何時(shí)間長(zhǎng)度，而功耗幾乎為零。
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)掃描
這些設(shè)備針對(duì)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)光束掃描操作模式進(jìn)行了設(shè)計(jì)和優(yōu)化。穩(wěn)態(tài)模擬驅(qū)動(dòng)電壓導(dǎo)致微鏡的穩(wěn)態(tài)模擬旋轉(zhuǎn)角。電壓和角度之間存在一一對(duì)應(yīng)的高度可重復(fù)性。還提供了許多諧振型掃描MEMS反射鏡設(shè)計(jì)，用于視頻投影和高速成像，例如48000行/秒。
動(dòng)態(tài)模式掃描
設(shè)備還可以在動(dòng)態(tài)、諧振模式下運(yùn)行。在這種模式下，接近共振頻率的低驅(qū)動(dòng)電壓會(huì)導(dǎo)致較大的雙向光束角（例如-16°到16°）。 對(duì)于MEMS顯示器應(yīng)用，諧振頻率范圍從幾kHz到24 kHz甚至更高。 共振取決于致動(dòng)器類型（系列）以及微鏡類型和直徑。
高速點(diǎn)對(duì)點(diǎn)光束掃描
我們專有的無(wú)云臺(tái)設(shè)計(jì)的主要優(yōu)勢(shì)是能夠在兩個(gè)軸上以同樣高的速度掃描光束。具有0.8 mm直徑大小的微鏡的典型設(shè)備可實(shí)現(xiàn)高達(dá)500 rad/s的角光束掃描，并且在兩個(gè)軸上的第一諧振頻率約為4 kHz。<100 μs的大角度階躍響應(yīng)建立時(shí)間已在具有直徑達(dá)0.8 mm的微鏡的設(shè)備上得到證明。 具有2.0毫米直徑反射鏡的設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)小于1毫秒的大角度步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間，第一諧振頻率約為1.3 kHz。
模塊化設(shè)計(jì)
為了生產(chǎn)具有不同鏡面尺寸的設(shè)備，大多數(shù)技術(shù)不僅需要新的制造周期，而且在某些情況下還需要完成致動(dòng)器的重新設(shè)計(jì)。Mirrorcle Technologies是全球唯一一家提供基于MEMS的可定制孔徑尺寸光束控制技術(shù)的供應(yīng)商。 即，在自對(duì)準(zhǔn)硅制造工藝中設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了針對(duì)速度、角度、面積足跡或諧振驅(qū)動(dòng)優(yōu)化的靜電致動(dòng)器組。 金屬化、超低慣性單晶鏡通過(guò)特殊的硅梁設(shè)計(jì)而變得堅(jiān)硬和平坦，是在單獨(dú)的制造過(guò)程中創(chuàng)建的。 反射鏡的直徑和幾何形狀是針對(duì)給定應(yīng)用選擇的，以優(yōu)化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權(quán)衡。 隨后將鏡子粘合到致動(dòng)器上。
有多種無(wú)萬(wàn)向節(jié)兩軸致動(dòng)器設(shè)計(jì)可供選擇。執(zhí)行器本身就適用于模塊化設(shè)計(jì)方法。每個(gè)致動(dòng)器可以使用任意長(zhǎng)度的旋轉(zhuǎn)器、任意剛性連桿和任意定位的機(jī)械旋轉(zhuǎn)變壓器。庫(kù)存類別包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在大多數(shù)情況下，由于增加的靜電力，較大的芯片尺寸可以提供更好的性能。 除了芯片尺寸之外，其他參數(shù)也有所不同，例如 剛性。 例如，一個(gè)設(shè)備系列設(shè)計(jì)為在大角度（-7.5°到+7.5°機(jī)械傾斜）下運(yùn)行，而另一個(gè)系列設(shè)計(jì)為在小尖端傾斜角度但顯著更高的速度下運(yùn)行（-1.0°到+1.0°機(jī)械傾斜）。
| 型號(hào) | 機(jī)械偏轉(zhuǎn)角 | Die Size | 振鏡尺寸 [mm] | ||||||||
| 系列 | [°] | [mm] | 2 | 2.4 | 3 | 3.6 | 4.2 | 4.6 | 5 | 6.4 | 7.5 |
| A7B1.1 | ±7 | 5.20 x 5.20 | ? | ? | ? | ? | NR | NR | NR | NR | NR |
| A7B2.3 | ±5.5 | 5.20 x 5.20 | NR | ? | ? | ? | NR | NR | NR | NR | NR |
| A8L2.2 | ±5 | 7.25 x 7.25 | NR | NR | ? | ? | ? | ? | ? | NR | NR |
| A5L3.3(C2) | ±4.25 | 7.25 x 7.25 | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | NR | NR |
| A5L3.3(C1) | ±2.5 | 7.25 x 7.25 | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | NR |
| A5L2.2 | ±1.15 | 7.25 x 7.25 | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? |
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