直徑高達(dá)2.4毫米的集成MEMS振鏡是單片制造的，作為無(wú)萬(wàn)向節(jié)執(zhí)行器設(shè)備結(jié)構(gòu)的集成部分。它們是硅芯片的中心區(qū)域，與周圍的靜電致動(dòng)器共享相同的微細(xì)加工步驟。這些鏡子由相同的可用硅層構(gòu)成，具有幾乎完全平坦和光滑的硅表面。在四個(gè)側(cè)面，鏡子連接到提供兩軸運(yùn)動(dòng)的雙軸連桿。自2016年以來(lái)，我們不斷庫(kù)存具有以下直徑的集成反射鏡的設(shè)備：0.8毫米、1.2毫米、2.0毫米和2.4毫米。所有庫(kù)存的集成反射鏡都涂有純鋁，可在非常寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)提供高反射率。金金屬化可以在晶圓規(guī)模上進(jìn)行，因此可用于更大的生產(chǎn)訂單。
鏡子尺寸：0.8毫米、1.2毫米、1.6毫米、2.0毫米和2.4毫米直徑庫(kù)存。
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)驅(qū)動(dòng)下的最大傾斜角：-6°至+6°機(jī)械每個(gè)軸，因設(shè)計(jì)類型而異。
共振驅(qū)動(dòng)下的最大傾角：-7°至+7°機(jī)械
單軸選項(xiàng)：大多數(shù)設(shè)計(jì)都可以提供純單軸運(yùn)動(dòng)。
表面粗糙度：<10 nm rms
驅(qū)動(dòng)方法：靜電驅(qū)動(dòng)，使用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驅(qū)動(dòng)器
鏡面曲率半徑：>5 m
鏡面涂層：鋁或金
位置重復(fù)性：室溫下優(yōu)于0.001°（1毫度）
工作溫度：MEMS Mirror工作溫度：-40°C至125°C（具體產(chǎn)品規(guī)格取決于封裝）
光學(xué)窗口：抗反射涂層熔融石英窗口?？刹鹦兜?。
A型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm雙面增透膜，AOI 22.5°
B型：熔融石英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm雙面增透膜，AOI 22.5°
C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm雙面增透膜，AOI 22.5°
*客戶特定波長(zhǎng)和AOI可用于100件以上的數(shù)量。
光功率處理：高達(dá)2W任何鏡子，任何波長(zhǎng)。2W以上取決于反射鏡尺寸、鍍膜和波長(zhǎng)。例如。3W CW藍(lán)色或綠色在2毫米或更大的鏡子上。
第一共振旋轉(zhuǎn)頻率：對(duì)于小鏡子尺寸的兩個(gè)軸>3 kHz，對(duì)于2.0mm尺寸的>1.2kHz等。
傾斜角是模擬的，而不是開(kāi)關(guān)
這是不能用于任意方向光束控制的數(shù)字微鏡元件的關(guān)鍵區(qū)別。換句話說(shuō)，如果需要6.15°的傾斜角，只需施加正確的電壓，即可獲得該角度（或任何其他角度）并將其保持任何時(shí)間長(zhǎng)度，而功耗幾乎為零。
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)掃描
這些設(shè)備針對(duì)點(diǎn)對(duì)點(diǎn)光束掃描操作模式進(jìn)行了設(shè)計(jì)和優(yōu)化。穩(wěn)態(tài)模擬驅(qū)動(dòng)電壓導(dǎo)致微鏡的穩(wěn)態(tài)模擬旋轉(zhuǎn)角。電壓和角度之間存在一一對(duì)應(yīng)的高度可重復(fù)性。還提供了許多諧振型掃描MEMS反射鏡設(shè)計(jì)，用于視頻投影和高速成像，例如48000行/秒。
動(dòng)態(tài)模式掃描
設(shè)備還可以在動(dòng)態(tài)、諧振模式下運(yùn)行。在這種模式下，接近共振頻率的低驅(qū)動(dòng)電壓會(huì)導(dǎo)致較大的雙向光束角（例如-16°到16°）。 對(duì)于MEMS顯示器應(yīng)用，諧振頻率范圍從幾kHz到24 kHz甚至更高。 共振取決于致動(dòng)器類型（系列）以及微鏡類型和直徑。
高速點(diǎn)對(duì)點(diǎn)光束掃描
我們專有的無(wú)云臺(tái)設(shè)計(jì)的主要優(yōu)勢(shì)是能夠在兩個(gè)軸上以同樣高的速度掃描光束。具有0.8 mm直徑大小的微鏡的典型設(shè)備可實(shí)現(xiàn)高達(dá)500 rad/s的角光束掃描，并且在兩個(gè)軸上的第一諧振頻率約為4 kHz。<100 μs的大角度階躍響應(yīng)建立時(shí)間已在具有直徑達(dá)0.8 mm的微鏡的設(shè)備上得到證明。 具有2.0毫米直徑反射鏡的設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)小于1毫秒的大角度步進(jìn)穩(wěn)定時(shí)間，第一諧振頻率約為1.3 kHz。
模塊化設(shè)計(jì)
為了生產(chǎn)具有不同鏡面尺寸的設(shè)備，大多數(shù)技術(shù)不僅需要新的制造周期，而且在某些情況下還需要完成致動(dòng)器的重新設(shè)計(jì)。Mirrorcle Technologies是全球唯一一家提供基于MEMS的可定制孔徑尺寸光束控制技術(shù)的供應(yīng)商。 即，在自對(duì)準(zhǔn)硅制造工藝中設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)了針對(duì)速度、角度、面積足跡或諧振驅(qū)動(dòng)優(yōu)化的靜電致動(dòng)器組。 金屬化、超低慣性單晶鏡通過(guò)特殊的硅梁設(shè)計(jì)而變得堅(jiān)硬和平坦，是在單獨(dú)的制造過(guò)程中創(chuàng)建的。 反射鏡的直徑和幾何形狀是針對(duì)給定應(yīng)用選擇的，以優(yōu)化速度、光束尺寸和掃描角度之間的權(quán)衡。 隨后將鏡子粘合到致動(dòng)器上。
有多種無(wú)萬(wàn)向節(jié)兩軸致動(dòng)器設(shè)計(jì)可供選擇。執(zhí)行器本身就適用于模塊化設(shè)計(jì)方法。每個(gè)致動(dòng)器可以使用任意長(zhǎng)度的旋轉(zhuǎn)器、任意剛性連桿和任意定位的機(jī)械旋轉(zhuǎn)變壓器。庫(kù)存類別包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在大多數(shù)情況下，由于增加的靜電力，較大的芯片尺寸可以提供更好的性能。 除了芯片尺寸之外，其他參數(shù)也有所不同，例如 剛性。 例如，一個(gè)設(shè)備系列設(shè)計(jì)為在大角度（-7.5°到+7.5°機(jī)械傾斜）下運(yùn)行，而另一個(gè)系列設(shè)計(jì)為在小尖端傾斜角度但顯著更高的速度下運(yùn)行（-1.0°到+1.0°機(jī)械傾斜）。
| 型號(hào)/系列 | 機(jī)械偏轉(zhuǎn)角 [°] | 磨具尺寸 [mm] | 振鏡直徑[mm] | 產(chǎn)品資料/PDF |
| A3I8.2-800AL | ±6 | 4.25 x 4.25 | 0.8 | 產(chǎn)品資料 |
| A7M8.1-800AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 0.8 | 產(chǎn)品資料 |
| A7M10.2-1000AL | ±4.75 | 5.20 x 5.20 | 1 | 產(chǎn)品資料 |
| A3I12.2-1200AL | ±5 | 4.25 x 4.25 | 1.2 | 產(chǎn)品資料 |
| F1M16.2-1600AL | ±4.5 | 5.20 x 5.20 | 1.6 | 產(chǎn)品資料 |
| A7M20.2-2000AL | ±5 | 5.20 x 5.20 | 2 | 產(chǎn)品資料 |
| A5M24.3-2400AL | ±5 | 7.25 x 7.25 | 2.4 | 產(chǎn)品資料 |
| 更多產(chǎn)品信息、需求信息，聯(lián)系蘇州波弗光電科技有限公司相關(guān)銷售人員獲取。 | ||||
