用于HVM的EUV光源的一大優(yōu)勢(shì)就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復(fù)頻率下運(yùn)行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點(diǎn)，加之采用Z-pinch?技術(shù)，非常適用于計(jì)量以及研究等應(yīng)用。
EQ-10HR是一個(gè)完全獨(dú)立的系統(tǒng)，可以集成到其他設(shè)備中，該系統(tǒng)內(nèi)部包括無(wú)電極Z-pinch光源組件、磁懸浮真空泵子系統(tǒng)、氣體輸送子系統(tǒng)，功率輸送子系統(tǒng)和電子控制設(shè)備。EQ-10HR能夠?qū)⒏哌_(dá)0.5 mJ /脈沖的寬帶EUV傳輸?shù)?pi球面度中，并且將以最高10 kHz的脈沖重復(fù)頻率連續(xù)運(yùn)行。
為了滿足不同應(yīng)用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進(jìn)行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對(duì)峰值功率和峰值亮度的不同來(lái)調(diào)節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側(cè)留有光學(xué)接口，方便客戶進(jìn)行應(yīng)用程序設(shè)備的連接。4、自定義彩色用戶頁(yè)面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動(dòng)或者自動(dòng)菜單。
