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產(chǎn)品中心
20W EUV 光源
用于HVM的EUV光源的一大優(yōu)勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復(fù)頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinch?技術(shù)，非常適用于計量以及研究等應(yīng)用。
產(chǎn)品特點
· 獨特的無電極Z-Pinch技術(shù)（專利正在申請中） 低電極碎屑/低成本
· 使用Xenon將10W轉(zhuǎn)換為2pi 產(chǎn)品具有更高的亮度和功率可以運用到更多的應(yīng)用中
· 小等離子體尺寸 直徑小于1mm
· 小型緊湊性價比高 占地面積小
· 符合CE和SEMI S2-0715標準
典型應(yīng)用
· EUV掩模檢測
· EUV測量
· EUV抗蝕劑顯影
· EUV顯微
相關(guān)文件
產(chǎn)品介紹

用于HVM的EUV光源的一大優(yōu)勢就在于可以在10 kHz或更高的脈沖重復(fù)頻率下運行。光源本身具有小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用Z-pinch?技術(shù)，非常適用于計量以及研究等應(yīng)用。



原理介紹

為了滿足不同應(yīng)用的使用需求，該產(chǎn)品在使用上進行了如下的優(yōu)化，以期更加地用戶友好：1、用戶可以根據(jù)對峰值功率和峰值亮度的不同來調(diào)節(jié)EUV的光輸出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小于1mm。3、系統(tǒng)外側(cè)留有光學(xué)接口，方便客戶進行應(yīng)用程序設(shè)備的連接。4、自定義彩色用戶頁面，客戶可跟根據(jù)需求選擇手動或者自動菜單。



產(chǎn)品型號及主要指標
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