微型，高性能，電磁驅(qū)動(dòng)的二維激光掃描MEMS振鏡
S13124-01是電磁驅(qū)動(dòng)振鏡，結(jié)合了我們獨(dú)特的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。 振鏡周圍的線圈中流動(dòng)的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動(dòng)振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。
微型，高性能，電磁驅(qū)動(dòng)的二維激光掃描MEMS振鏡
S13124-01是電磁驅(qū)動(dòng)振鏡，結(jié)合了我們獨(dú)特的MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)。 通過將磁鐵布置在振鏡下方，可以使設(shè)備占地空間更小。 振鏡周圍的線圈中流動(dòng)的電流根據(jù)弗萊明定律驅(qū)動(dòng)振鏡產(chǎn)生洛倫茲力。 濱松MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉(zhuǎn)角和高反射鏡反射率。
| 類型 | For 2-dimensional scan |
| 掃描模式 | 2-axis linear scan |
| 運(yùn)行模式 | First axis: Linear mode Second axis: Linear mode |
| 振鏡尺寸 | φ1.95 mm |
| 振鏡材料 | Aluminium |
| 光學(xué)偏轉(zhuǎn)角 | First axis: ±10° Second axis: ±10 ° |
| 驅(qū)動(dòng)頻率（最大值） | First axis: 90 Hz Second axis: 90 Hz |
