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高性能、超緊湊型電磁驅(qū)動(dòng)激光掃描微振鏡（MEMS mirror）  
S12237-03P是一個(gè)融合了我司獨(dú)特的MEMS工藝的電磁驅(qū)動(dòng)振鏡。通過在振鏡下嵌入磁石來實(shí)現(xiàn)超小的尺寸。伴隨這磁石發(fā)出的磁場，電流流動(dòng)成線圈狀環(huán)繞振鏡，基于弗萊明（Fleming）的左手定論，產(chǎn)生的洛倫茲力（Lorentz force）將驅(qū)動(dòng)振鏡。濱松MEMS mirror可提供較寬的光偏轉(zhuǎn)角，且只需低功耗便可獲得較高的鏡面反射率。